Hawkvis霍克视觉:半导体拉晶炉双目测量系统HV-GF5102
产品简介:
Hawkvis霍克视觉——单晶炉双目测量系统主要用于半导体行业拉晶工艺在引晶,放肩,转肩,等径全阶段的液位液口距检测。 以监控并反馈拉晶过程的参数调整,增加拉晶成功率,适用于拉晶过程控制要求严格,高精度的场景。
Hawkvis霍克视觉——优势:
自主知识产权
l从底层算法库,到上层应用程序,均拥有自主知识产权
l可以针对客户的特殊需求,进行底层的算法修改,和定制化开发
l避免使客户陷入盗版软件的纠纷
集成了多种测量方法,保障测量结果的稳定可靠
l透视畸变矫正
l圆拟合、直线几何换算
l滤波抗干扰
灵活的销售模式
l独立软件+视觉硬件+独立小型工控机,全套解决方案
l独立软件+视觉硬件,共享工控机解决方案
l独立软件
成熟的应用经验
l深耕行业多年,市场占有率高,系统稳定可靠
l贴近用户需求,支持个性化定制,适应不同场景应用需求
l软件操作便捷,符合拉晶工操作习惯,新手上手难度低
1.采用双目液口距测量,通过双目标定可以计算出导流筒距离液面的真实绝对距离(绝对液口距);
2.整个车间所有炉台的液口距标准化(统一液口距),可以减少现场人力投入,且便于统一拉晶工艺标准化;
3.液口距控制稳定且测量精度高,提高拉晶成活率、晶棒质量整体效果更佳;
4.精确的液口距,可以保证拉晶过程中热场稳定,利于控径和拉晶,且直径符合实物直径大小,避免浪费硅料;
技术参数
工序节点 | 测量/检测项目 |
熔料阶段 | 自动熔料 |
稳温阶段 | 人工试稳 |
引晶阶段 | 直径/液位/液口距 |
放肩阶段 | >直径/液位/液口距 |
转肩阶段 | 直径/液位/液口距 |
等径阶段 | 直径/液位/液口距 |
双目优势
与单目相比,双目具有:
量程大,测距远,测量更加精确,精度更高的优点;
软件、算法完全自主知识产权,售后优化快捷。
阶段样图